氦氣用作氦質譜檢漏儀

   氦質譜檢漏儀用氦氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。 與一般的檢漏技術相比，這種儀器優點是：檢漏靈敏度高，可以檢漏到10-11Pam3/s 數量級；儀器響應快，氦分子在儀器高真空的環境中擴散的速度很高。所以氦質譜檢漏儀在許多領域里得到廣泛的應用，例如在航空航天領域里宇宙飛船、航天飛機、火箭、衛星、飛機等這些都要用到真空檢漏技術。

在一般工業領域里原子能、發電廠、配電站、合成氨的氮肥生產廠、汽車制造業、造船工業、制冷工業、冶金工業、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐快餐食品包裝等都離不開檢漏問題,同樣在導彈武器裝備中也離不開檢漏,導彈彈體、燃料儲備罐、燃料運輸管道、彈頭、特殊部件的密封性都要用到氦質譜檢漏。

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